Cible de pulvérisation de niobium

Shaanxi Zhongheng Weichuang Metal Materials Co ., Ltd . est situé dans la zone de développement de haute technologie de la ville de Baoji, la province de Shaanxi ., la société produit principalement des profils transformateurs conventionnels tels que les plaques, les pliments, les foils, Hafnium, alliage de tungstène en tantalum, Niobium Hafnium Alloy C103, ainsi que des produits transformés profonds tels que les navires, les creusets, les cibles de pulvérisation, les cibles de revêtement, les pièces usinées,

 

 

Paramètres de spécification et types de matériaux cibles

01.

Spécifications de taille

Diamètre de la cible ronde: Les tailles standard incluent le diamètre 25 . 4mm, 50 . 8 mm, 76,2 mm, 101,6 mm, 127 mm et 152,4 mm. Les diamètres personnalisés peuvent être étendus à 20-400 mm.

Taille cible carrée: épaisseur 1-20 mm x largeur 10-1000 mm x longueur 200-2000 mm (prend en charge la personnalisation non standard) .

Longueur de la cible tournante: jusqu'à 1500 mm, nécessitant une liaison à une plaque arrière en cuivre sans oxygène .

02.

Type de matériau cible

Cible plate: substrat circulaire / carré, écart de planéité inférieur ou égal à 0 . 2 mm.

Target rotatif: Structure cylindrique, adaptée à l'équipement de revêtement à grande région. .

Matériau cible composite:
       
Plate arrière de cuivre de liaison: épaisseur de la couche de cuivre de 2-3 mm, porosité d'interface inférieure ou égale à 0 . 1%.
       
Target en alliage (comme TANB20): Ratio de Niobium Tantalum réglable (TA =80: 20/70: 30/60: 40) .

Zones d'application de base

1, fabrication de semi-conducteurs et de puces
Couche conductrice / couche de barrière: un matériau cible de haute pureté de grade 4n (supérieur ou égal à 99 .} 99%) est utilisé comme couche de barrière de diffusion pour les interconnexions de cuivre dans les puces, en soutenant la miniaturisation des puces 5G.
Dispositifs de stockage: couche magnétique disque dur (HDD) et dépôt de film de protection SSD pour améliorer la densité de stockage des données .

2, Industrie spéciale et recherche scientifique
Dispositif de physique nucléaire: des feuilles de niobium résistantes au rayonnement (épaisseur 0.1-5 mm) sont utilisées pour les détecteurs de particules et les composants de blindage .
Aérospatial: revêtement résistant à haute température pour les lames de turbine (condition de travail de 1700 degrés C), excellente résistance aux chocs thermiques .
Dispositifs médicaux: revêtement biocompatible, modification de surface des implants orthopédiques .

3, nouveaux dispositifs d'énergie et optique
Photovoltaic cells: Anti reflective layer/conductive layer, light transmittance>95%, améliorant l'efficacité de la conversion photoélectrique .
Verre d'économie d'énergie: verre à faible revêtement, contrôle de réflexion infrarouge, taux d'énergie de construction de 30% .
Lidar: le film anti-réfléchissant optique lidar réduit la perte de diffusion de la lumière et améliore la précision du signal .

Le matériau cible de la pulvérisation de niobium, en tant que matériau central du revêtement haute performance, est devenu un composant clé indispensable dans les domaines des semi-conducteurs, de nouvelles énergies et de ses excellentes industries en raison de son excellente résistance à haute température, de la stabilité chimique et de l'adaptabilité fonctionnelle tels que des puces et des puces photovoltantes et photovoltantes, avec la demande itérative des techniques telles que les plips 5G Les matériaux cibles de niobium personnalisés se développent davantage, favorisant le développement de processus de préparation des matériaux vers une plus grande précision et verdure .

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